成果介紹
硅材料來源豐富、電學(xué)性能和熱穩(wěn)定性好，且能在不同的溫度下穩(wěn)定等特點，已逐漸成為最重要的半導(dǎo)體材料。當(dāng)今全球每年超過3000億美元的半導(dǎo)體市場中95%以上的半導(dǎo)體器件及95%以上的集成電路都用到了硅。各國硅單晶和硅拋光片的制造水平是該國集成電路產(chǎn)業(yè)是否獨立的重要標志。
大尺寸電子級硅單晶爐是利用直拉法生產(chǎn)集成電路用硅單晶的關(guān)鍵技術(shù)裝備，在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中居首要地位。長期以來，電子級硅單晶爐的關(guān)鍵技術(shù)均由少數(shù)國家壟斷，成為制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸之一，其核心主要體現(xiàn)在技術(shù)裝備和生長工藝兩方面。
本項目在國家科技重大專項的的支持下，西安理工大學(xué)劉丁教授所領(lǐng)導(dǎo)的團隊自主研發(fā)成功國內(nèi)首臺電子級硅單晶爐，并成功研制出國內(nèi)第一臺電子級單晶爐用大型勾形磁場，已初步具備小批量產(chǎn)業(yè)化能力。研制出的單晶爐已銷售至國內(nèi)外相關(guān)公司，取得的核心技術(shù)成果已在多個系列300余臺單晶爐產(chǎn)品中使用。硅單晶生產(chǎn)及其設(shè)備產(chǎn)業(yè)化將勢必帶動我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，推動我國半導(dǎo)體和集成電路市場邁入全球市場，達到國際先進水平。
據(jù)工業(yè)和信息化部統(tǒng)計，到2020年，中國可能成為全球最大的集成電路制造基地之一，這將帶動我國半導(dǎo)體設(shè)備市場的大幅增長，帶來巨大的經(jīng)濟效益。
